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【What’s New】 

200813 論文のリストを更新しました.

200709 Optics Lettersに掲載された論文がSpotlight on Opticsに選ばれました!

200515 論文がOptics Lettersに掲載され,プレスリリースされました.

200326 論文が Scientific Reports (Nature Research) に掲載され,プレスリリースされました.

191129 論文が Communications Physics (Nature Research) に掲載され,プレスリリースされました.

190222 JOSA BのTop Downloads from January 2019に選ばれました.

 

【ようこそ】

本研究室では,極端紫外 (EUV)・軟X線光源の他,水の窓軟X線顕微鏡について研究しています.これらの光源は,CPUやメモリーの高密度化に必要となる次世代半導体リソグラフィー露光用EUV光源の高効率化に関する研究や,水の窓 (Water Window) 軟X線光源とその顕微鏡に関するものです.これらを駆動するため,小型の高繰り返し・高平均出力レーザーや超広帯域ファイバーレーザーの開発も行っています.これらのレーザー光源は,上記の研究だけでなく,医療応用や自動車産業への応用など研究内容は拡がっており,本研究室は企業や大学・研究所との共同研究も積極的に行っています.

研究室に所属した学生はCAD,機械工作,プログラミングなど,ほとんどすべてに関わり,学外での共同研究にも積極的に参加します.