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【What’s New】

近々,研究室のHPをリニューアルする予定です.

240527 メンバーのページを更新しました。

240526 公益財団法人 JKAの2024年度研究補助(複数年研究)に採択されました.

240526 論文のリストを更新しました.

240215 プレスリリース 「髪の毛の太さと同じ! 直径0.1 mmの光ファイバー1本からなるレンズのいらない内視鏡技術の開発に成功!」(Applied Optics)

230913 プレスリリース 「EUV光源の世界最高変換効率(理論値)10.3%の達成」(Optics Express)

【ようこそ】

本研究室では,極端紫外 (EUV)・軟X線光源の他,水の窓軟X線顕微鏡について研究しています.これらの光源は,CPUやメモリーの高密度化に必要となる次世代半導体リソグラフィー露光用EUV光源の高効率化に関する研究や,水の窓 (Water Window) 軟X線光源とその顕微鏡に関するものです.これらを駆動するため,小型の高繰り返し・高平均出力レーザーや超広帯域ファイバーレーザーの開発も行っています.これらのレーザー光源は,上記の研究だけでなく,医療応用や自動車産業への応用など研究内容は拡がっており,本研究室は企業や大学・研究所との共同研究も積極的に行っています.

研究室に所属した学生はCAD,機械工作,プログラミングなど,ほとんどすべてに関わり,学外での共同研究にも積極的に参加します.