ホーム

【What’s New】 

190610 論文がApplied Physics Lettersに掲載されました.

190222 JOSA BのTop Downloads from January 2019に選ばれました.

190103 家康の里合宿(冬合宿)の情報はこちら

 

【ようこそ】

本研究室では,極端紫外 (EUV)・軟X線光源の他,水の窓軟X線顕微鏡について研究しています.これらの光源は,CPUやメモリーの高密度化に必要となる次世代半導体リソグラフィー露光用EUV光源の高効率化に関する研究や,水の窓 (Water Window) 軟X線光源とその顕微鏡に関するものです.これらを駆動するため,小型の高繰り返し・高平均出力レーザーや超広帯域ファイバーレーザーの開発も行っています.これらのレーザー光源は,上記の研究だけでなく,医療応用や自動車産業への応用など研究内容は拡がっており,本研究室は企業や大学・研究所との共同研究も積極的に行っています.

研究室に所属した学生はCAD,機械工作,プログラミングなど,ほとんどすべてに関わり,学外での共同研究にも積極的に参加します.

【最新論文】

[1] Journal of the Optical Society of America B 36, 48 (2019). 

[2] Japanese Journal of Applied Physics (Brief Note) 58, 028001 (2019). 

 

【学会出席・招待講演】 

近いうちに出席予定のリストを載せようと思います.