研究室の代表的な研究設備をご紹介します．これ以外にもありますので，ご相談下さい．

【EUV光・軟X線発生用高エネルギーレーザー装置】
Nd:YAGレーザー：波長 1064 nm，パルス幅 150-170 ps，パルスエネルギー 250 mJ，繰り返し周波数 < 10 Hz
Nd:YAGレーザー：波長 1064 nm，パルス幅 10 ns，パルスエネルギー 1.3 J，繰り返し周波数 < 10 Hz (532 nm, 355 nmも発生可能) [筑波大学より]
炭酸ガスレーザー（CO₂レーザー）システム（自作）：波長 10.6 um，パルス幅 3-20 ns，パルスエネルギー 50-160 mJ，繰り返し周波数 < 10 Hz

【レーザー評価検出系】
パイロカム（THz〜可視域）
ビームプロファイラ（可視域）
波面センサー（可視域）
パワーメータ
エネルギーメータ
フォトダイオード

【Nd:YAGレーザーと炭酸ガスレーザー発振部】

【CO₂ガスレーザー増幅部】

【高繰り返しNd:YAGレーザー (Spectra Physics社)】

【EUV光・軟X線検出装置，高速イオン検出器】
斜入射分光器（2400 grooves/mm）
斜入射分光器（1200 grooves/mm） [長岡技術科学大学より]
X線ピンホールカメラ
EUVカロリーメーター
静電型エネルギー分析器
軟X線顕微鏡

【斜入射分光器】

【軟X線顕微鏡】